第507章 技术研讨（2/2）

那么选择什么光源呢

当然是光源的波长越短越好。

因为波长越短，蚀刻越精确，同时电路的集成性越高。

紫光，无疑是常见光线中波长最短的光，是最佳的选择。

还有没有比紫光波长更短的光呢

有，紫外线。

紫外线波长范围大约为5n-400n，而紫光波长在380-450n之间，紫外线明显要短得多。

那么还有没有吧里紫外线的波长更短的光呢

有！

极紫外线！

在姜辰的引导下，极紫外线最终成了光源的最佳选择。

那极紫外线怎么获得呢

新一轮的头脑风暴开始。

有人提出，在三万度高温下，锡会转化为离子体状态，从而发出极紫外光。

那么又要怎么讲锡加热到三万度呢

高功率二氧化碳激光束！

激光束通过特殊的真空密封光束管，聚焦到微小的锡滴上，可将其加热至超过3万度高温。

问题又来了，高功率二氧化碳激光束怎么获得，三万度高温又需要什么器具来承载

每一个方案的诞生，就会有无数新的问题出现。

这就是一个反推的过程。

然后将这些问题一一找到解决方案，这就是研发的过程。

当从理论上解决了技术问题，就要开始发展技术，进入实操，这就是落地的过程。

讨论非常的激烈，在数天的探讨之后，大家终于把想象得到的问题，都初步探讨出了解决方案。

新的问题有出现了。

即便通过以上方法获得了极紫外线，但并不是纯粹的极紫外线。

又要用什么方法来获得单一的极紫外线了

新的探讨在此展开。

采用高低折射率材料交替制备的多层膜结构，来分离出极紫外线是最好的选择。

那么这个膜该用什么材料有需要多层膜才能将其他光线全部折射出去呢各层膜直接的角度怎么设置更加科学呢

通过理论加计算，可以得出大致的方向。

具体的结果，就需要通过实验来验证。

陶坛完这个问题大家才发现，单单极紫外线的获取这一点的复杂程度，就远远超过了之前大家初次探讨画出来的草图。

二者，还只是光刻机中最为简单的技术。

直到此时，大家才知道要研制出这个东西来，并不是大家想象中的那么简单。

给众人打了个板之后，姜辰便让大家按照这个流程，继续对剩下的技术进行探讨和细分。

直到每一个环节都考虑到位。

当然这些技术，现在种家的工业基础和布局，根本都无法完成光刻机的制作。

不管是光源、光学系统、物镜、掩模、晶圆台，还是曝光系统和对焦系统，没有一个是能够搞定的。

这个时候，就需要通过探讨的结果来进行逐级反推。

要达成这些技术，需要哪些产业的支持。

这些产业又需要什么技术，才能达成支持所需的要求。

甚至有的探讨出来的东西，并不一定是正确的。

他还需要在真正实验室制作的过程中，继续的调整和改善。

一开始，他并没有堵光刻机的精度提出具体的要求。

不管多少精度，先制作出一台来。

大家有了经验，才能知道该从哪些方面努力，来提升光刻机的精度。